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euv光刻机光源谁生产的_阿斯麦光刻机是什么
来源:江南体育app下载      发布时间:2024-12-22 22:00:33      


euv光刻机光源谁生产的_阿斯麦光刻机是什么


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  EUV光刻机的核心光源装置由美国的西盟科技制造。在高度国际化的EUV光刻机组件中,大约九成的关键技术依赖进口,其中荷兰的阿斯麦公司扮演系统整合与设计研发的角色。这一精密设备的三大关键部件包括源自硅谷的微激光系统、德国蔡司的高精度镜头,以及西盟科技供应的EUV光源。有必要注意一下的是,2012年,阿斯麦通过并购西盟科技,将其纳入麾下,加强了对EUV光源技术的掌控。现今,西盟科技作为阿斯麦的子公司,专责于EUV光源的生产。

  极紫外光刻技术是推动芯片制造工艺微型化的核心技术。由于在相同面积内集成更多的晶体管能明显提升芯片效能,因此追求更精细的制程成为了行业共识。

  阿斯麦公司的CEO彼得·温宁克透露,在过去的十年中,该公司成功销售了大约140台EUV光刻设备,每一台的标价高达约2亿美元。

  Semico研究公司的执行副总裁约安妮·伊托指出,由于这些设备的高昂成本,许多芯片制造商面临着财务上的巨大障碍,这实际上导致了不少企业难以参与竞争,被迫边缘化。

  来自美国塔夫茨大学弗莱彻学院的助理教授克里斯·米勒在接受媒体采访时强调,虽然阿斯麦是一家荷兰公司,但它生产的光刻机在很大程度上依赖于美国提供的关键零部件。这一事实凸显了全球供应链在高科技产业中的复杂交织。

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